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光删工作原理 编辑
光删是一种利用激光束进行材料刻槽、剥离和划线等加工的技术,在半导体加工、电子制造、微电子领域等得到广泛应用,其工作原理是利用激光束的高能量浓度,精确扫描材料表面,使其被加工区域发生物理、化学反应,从而实现加工的目的。
光删的工作原理可以分为以下几个步骤:
1. 激光束的聚焦:通过透镜将激光束聚焦成一个非常小的点,使其能够达到高能量浓度,能够刻划出非常细小的线条和结构。
2. 光子吸收:激光束照射到被加工物体表面时,能量会转化成热能,使表面材料达到高温并蒸发。同时,激光能还可以与材料分子内的电子相互作用,造成电子跃迁,电离和激发等反应。这些反应会使被加工的材料发生本质变化,导致切割和剥离的效果。
3. 材料排异:材料受到光强烈照射后,在表面形成微小爆炸,产生压缩气体,压缩气体向外推进,发生剥离,切割等热效应过程,形成刻槽和线条,实现加工目的。
4. 光删参数的控制:激光删除加工是依靠光子能量的吸收与转移和化学反应 等过程,因此在加工过程中要控制好各项参数,例如激光功率、扫描速度、焦距、扫描模式、波长等,保持加工过程的稳定和可重复性。
总之, 光删技术的优点是切割效率高、加工精度高、能够加工出非常复杂的图案等,因此适用于制造高精度电子器件,实现微加工领域的一些特殊应用。